氮泵是真空工艺中的一种高质量稳定的低压机械泵。它主要由泵壳、叶轮、转子、机架、机封、新陈代谢孔、配油器等部件组成。氮泵的工作原理是通过叶轮的旋转把气体导入泵体内，由于泵体与叶轮之间的间隙足够小，气体就会产生分子撞击泵体，因此分子的动能被转化成随机热运动，最终被泵出。
氮泵在真空环境下被广泛应用，如在半导体制造过程中对气体进行抽取，用于真空干燥、油路清洗、真空热处理、太空模拟、物理实验、电子显微镜、电子探针、X射线衍射光谱和现代分析仪器等。
氮泵作为在真空环境下行之有效的泵之一，其应用领域非常广泛。通过了解氮泵的原理和应用，可以更好地洞察真空工艺的适用场合和手段，掌握其合理的使用技巧，从而更好地开展相关实验和研究。
